平衡流量計(jì)具有差壓流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)，耐振動(dòng)，對(duì)直管段要求比較低，出入現(xiàn)場(chǎng)我們要先了解平衡流量計(jì)的安裝要求，只有先了解平衡流量計(jì)我們才能更好的發(fā)揮它的特點(diǎn)。

大多數(shù)傳統(tǒng)的真空沉積工具使用壓力變送器來維持真空室中的氣體壓力，節(jié)流閥設(shè)置可能花費(fèi)數(shù)千美元，它還需要一個(gè)單好的控制模塊來為閥門供電。