大多數(shù)傳統(tǒng)的真空沉積工具使用壓力變送器來維持真空室中的氣體壓力,節(jié)流閥設(shè)置可能花費(fèi)數(shù)千美元,它還需要一個(gè)單好的控制模塊來為閥門供電。